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用于半导体晶片检测的日本非接触式厚度测量仪 OZUMA CL

发布时间:2021-06-04 点击量:2114

用于半导体晶片检测的日本非接触式厚度测量仪 OZUMA CL

 

半导体晶片(Si硅晶片、GaAs、砷化镓Ga)、砷(As)、玻璃、金属等。它是。OZUMA CL 非接触式厚度测量装置用于半导体晶片(Si 硅晶片、GaAs、镓 (Ga) 砷 (As))背面抛光工艺或每个制造工艺中的厚度(厚度)控制??捎糜诰г玻ê穸龋┛刂频姆墙哟ナ讲饬?。 

分辨率为 0.01 μm。

由于是激光非接触方式 ,因此无需担心探针等划伤被测物体。由于是非接触式,因此可以对同一被测物进行厚度(厚度)、翘曲度、平行度等重复测量。由于激光传感头上下相对放置,因此可以准确测量厚度,而不受被测物体“滑行”引起的抬升的影响。

除了气压,我们还制造油压、水压等单元,各种定制测量仪器(空气、激光、光谱干涉仪、图像等)和试验机(振动、冲击、耐久性等)。 . 如果您想自动化人们目前正在做的工作,我们也期待收到您的来信。