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日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统FilmTek 1000
?SCI（科学计算）光学膜厚测量系统?
凭借广泛的测量波长，专有算法和分析软件，我们具有其他公司所没有的各种优势。
通过组合灵活的系统，我们可以准确地响应您的需求。
[关于SCI（科学计算）]
SCI（科学计算）于1993年在加利福尼亚州成立，是一家薄膜分析和设计软件公司。
在1996 年开发的分析和设计软件FilmWizasrd TM被*为各个领域的优xiu软件包之后，我们开发了光学膜厚测量仪FilmTeK TM系列。
该公司的产品可以执行非接触，非破坏性和高精度的折射率测量，半导体，光电，数据存储，平板，MEMS，光致抗蚀剂，TSV（硅直通电极）和其他成膜过程。它已交付给大型公司，并在范围内享有很高的声誉。
[产品阵容]
<1> FilmTek 1000系列：简单的干涉仪系统
? FilmTek 1000UV（UV?面光源）
? FilmTek 1000M（小斑点）
<2> FilmTek 2000系列：干涉仪测绘标准系统，也可以进行多层膜分析。
? FilmTek 2000M（小斑点）
? FilmTek 2000M TSV（TSV测量）
FilmTek 2000SE（椭圆仪）
? FilmTek 2000PAR
<3> FilmTek 3000系列：使用分光镜在DUV到NIR范围内，测量透明和半透明基板上薄膜的反射率和透射率图
? FilmTek 3000M
? FilmTek 3000 +近红外
? FilmTek 3000SE
? FilmTek 3000PAR
<4> FilmTek 4000系列：通过功率谱密度（PSD）进行多角度反射率测量和高精度测量
? FilmTek 4000VIS +红外
? FilmTek 4000SE
<5> FilmTek SE：光谱椭圆仪
[FilmTek产品概述]
FilmTek系列是一种光学非接触式膜厚测量设备，可进行无损且高精度的折射率测量。
为了进行分析，可以使用SCI*的高性能软件：Film Wizard。
可以在不固定折射率和吸收（衰减）系数的情况下与膜厚度同时计算折射率和吸收系数。
在测量的同时输出光学膜厚度，然后使用洛伦兹-洛伦兹公式由反射率和透射率确定介电常数。
确定介电常数后，将使用SCI的原始色散公式作为物理属性值自动计算材料的波长依赖性，并自动拟合n（折射率）和k（吸收系数）。 ..
另外，由于将折射率的分辨率计算为10-4以上，因此，不仅是由该固定折射率得到的来自上表面的信息，而且还包括界面层，表面的变化和内倾斜层?？梢圆蹲降接跋臁?/p>
[测量例]
<测量目标>
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日本napsonμ非接触式光学膜厚测量系统FilmTek 1000 <测量膜的 光刻胶金属薄膜（半透明） 聚酰亚胺Al2O5 IGZO OLED等 <测量基准示例> | ? |
产品名称：膜厚测量系统（非接触式，光学型）
